真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢？
真空系統(tǒng)相比較于機(jī)組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢？這個(gè)是不確定的，先來(lái)認(rèn)識(shí)一下可能存在的泵的名詞解釋。
1、主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
2、前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
3、粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。
4、維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能良好的利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵。
事實(shí)上簡(jiǎn)單的
真空系統(tǒng)只是能獲得一個(gè)粗真空，而想要獲得高真空時(shí)，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個(gè)高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨(dú)保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴(kuò)散泵，為了避免大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥，散熱器等等，這樣就構(gòu)成了一個(gè)較完善的高真空系統(tǒng)。
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